型号3660系列质量流量控制器设计精密，成本较低，广泛用于不同的领域，包括实验室和开发项目中，作为的质量流量控制器用于各种类型的分析器和真空装置中。各种衍生的型号和选项可选。
特点
通过安装一个温度流量传感器得到高的快速回应。
通用的常闭型阀门确保了安全
使用电磁执行器保证了高效的可靠性
低差压类型控制适用于燃烧的气体（LP可选）
技术指标
F.S.流量 (N2换算)
10SCCM-20SLM(30SLM-100SLM)
阀门方式
常闭电磁阀
控制
控制范围
2%-100%F.S.（5%-100%F.S.）
应答性
设定±2%F.S.至2秒以内（标准）
精度
±1.5%F.S.以内（±2%F.S.以内）
再现性
±0.5%F.S.以内
压力
耐压
980kPa
操作差压
F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa； 5＜F.S.≤20SLM 95kPa-294kPa
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